热真空试验箱参数范围:

有效空间:

承载:≥50kg

空载极限真空度:

热沉空载温度范围: -70~150C

石英晶体微量天平

石英晶体微量天平参数范围:

QK20A污染沉积面:金Au

名义质量敏感度:亚分子层，探测1ng/cm/Hz的质量变化

数据采集时间周期: 1 秒一60秒

晶片温度测量:土0.1度， 范围-100度~ 100度

测试分辨率: 

测试量程: